×

Wysokorozdzielczy elektronowy mikroskop skaningowy (SEM) JSM 7200F firmy JEOL
JOEL.jpg

Instytut Metalurgii Żelaza zakupił w 2018 roku wysokorozdzielczy elektronowy mikroskop skaningowy (SEM) JSM 7200F firmy JEOL wyposażony w detektory EDS (Octane Elite Super) i EBSD (Hikari Plus) firmy EDAX oraz urządzenie firmy Fischione do preparatyki próbek do badań metodą EBSD. Mikroskop wyposażony jest w działo FEG z termicznym emiterem elektronów (emiter Schottky’ego) wbudowane w układ soczewki kondensora, które jest aktualnie jedyną konstrukcją źródła elektronowego łączącą ultra-wysoką rozdzielczość z unikalnie wysokimi wartościami prądu wiązki. Mikroskop posiada całkowicie nową konstrukcję soczewki obiektywu, z polem magnetycznym i elektrostatycznym oraz deceleracją elektronów wewnątrz soczewki, minimalizującą efekt aberracji chromatycznej i umożliwiającą stosowanie wewnątrzsoczewkowego układu detekcji elektronów SE i BSE bez pola magnetycznego obejmującego preparat. Ponadto mikroskop wyposażony jest w wewnątrzsoczewkowy filtr energii elektronów współpracujący z wewnątrzsoczewkowym systemem detekcji elektronów („górny” detektor lub detektory in-lens), który umożliwia energetyczną selekcję elektronów sygnałowych docierających do detektora(ów) i tworzących obrazy charakterystycznych cech. Filtr energetyczny wykorzystywany jest z zastosowaniem metody „łagodnej wiązki” i tworzy skuteczny układ neutralizacji efektu ładowania się powierzchni w próbkach nieprzewodzących. Technika „łagodnej wiązki” pozwala na redukcję energii elektronów (wyhamowanie) tuż przed dotarciem do powierzchni próbki – bez zmniejszania strumienia elektronów w wiązce pierwotnej. Dzięki możliwości stosowania ekstremalnie małych energii elektronów oświetlających próbkę (do 10 eV) uzyskiwane są ważne informacje związane z uwidacznianymi najbardziej subtelnymi cechami rozwinięcia powierzchni próbki. Wewnątrzsoczewkowy układ detekcji elektronów wtórnych (SE) i elektronów wstecznie rozproszonych (BSE), funkcjonujący bez pola magnetycznego na próbce (field-free pozwala na wysokorozdzielcze obrazowanie wszelkiego rodzaju preparatów, w tym próbek ferromagnetycznych, zawsze z możliwością zastosowania maksymalnego powiększenia.

Mikroskop JSM-7200F daje możliwość obserwacji dużych próbek o średnicy do 200 mm. Komora preparatowa mikroskopu JSM-7200F jest wyposażona w odpowiedni port EBSD, umieszczony koplanarnie z portem EDS w płaszczyźnie, która jest prostopadła do osi pochyłu stolika próbki.

 

Tabela 1. Najważniejsze parametry mikroskopu JSM 7200F

Zakres powiększeń

25x do 1.000.000x

(dla formatu 120 mm x 90 mm)

Napięcie przyspieszające

100 V do 30 kV

Prąd wiązki

1 pA do 400 nA

Rozdzielczość

0,7 nm (15 kV) 0,8 nm (1 kV)

 

Mikroskop umożliwia detekcję elektronów wewnątrz soczewki obiektywu in-lens:

  • Upper Electron Detector (UED) dla detekcji elektronów wtórnych (SE) lub elektronów wstecznie rozproszonych (BSE),
  • Upper Secondary Electron Detector (USD) dla detekcji elektronów wtórnych (SE),
  • jednoczesnea wewnątrzsoczewkowa detekcja elektronów wtórnych SEi elektronów wstecznie rozproszonych BSE.

Detekcja elektronów wtórnych (SE) poza soczewką obiektywu:

  • pozasoczewkowy detektor elektronów wtórnych Everhardta-Thornleya.

Detekcja elektronów wstecznie rozproszonych poza soczewką obiektywu:

  • pozasoczewkowy wysuwany detektor elektronów wstecznie rozproszonych.

Mikroskop wyposażony jest w czteropolowy detektor BSE firmy DEBEN oraz oprogramowanie SmileView™ umożliwiające:

  • rekonstrukcję 3D topografii powierzchni,
  • wizualizację 3D przy dowolnym poziomie lub kącie powiększenia,
  • metrologię powierzchni,
  • charakteryzowanie chropowatości i tekstury powierzchni zgodnie ze wszystkimi najnowszymi standardami (ISO, JIS, ASME itp.).


Powrótwersja do druku